Družina dajalnikov VIONiC™
V družini VIONiC so najzmogljivejši inkrementalni optični dajalniki iz Renishawa. Dajalniki omogočajo neposredno digitalno merjenje položaja z odličnimi merilno-tehničnimi lastnostmi, visokimi hitrostmi delovanja in odlično zanesljivostjo. V bralni glavi VIONiC delujeta preizkušena filtrirna optika in napredna interpolacijska tehnologija Renishaw. Na ta način je dosežena ultranizka napaka interpolacije (SDE) ter odlična odpornost proti umazaniji, obenem pa je odpravljena potreba po dodatnih adapterjih ali posebnih vmesnikih.
Bralne glave VIONiC so poleg tega združljive z vrsto linearnih skal, skal za aplikacije z delnim krožnim lokom in rotacijskih skal, od trakov z majhnim temperaturnim koeficientom dolžinskega raztezka ZeroMet™ do visokonatančnih obročev REXM. Serija dajalnikov VIONiC je tako prva izbira za vsestranskost in odlične merilno-tehnične lastnosti.
Ultranizka napaka interpolacije (SDE)
Pri seriji dajalnikov VIONiC sta združena preizkušena filtrirna optika in obdelava signalov iz Renishawa za vrhunsko merilno-tehnično zmogljivost. Napredna interpolacijska tehnologija zagotavlja značilno ultranizko napako interpolacije (SDE) pod ±15 nm, ki je najnižja med vsemi optičnimi dajalniki iz Renishawa.
Visoka hitrost delovanje s fino ločljivostjo
Bralna glava VIONiC ima pameten interpolacijski čip za ločljivosti do 2,5 nm, s čimer ponuja visoko natančnost in ponovljivost za vsako aplikacijo. Dajalnik je na voljo z največjim taktom 50 Mhz in deluje pri hitrostih do 12 m/s. Hitrosti do 3,63 m/s so možne pri ločljivosti 0,1 µm, kar je idealno za maksimalno produktivnost procesov v industriji polprevodnikov.
Napredno diagnostično orodje
Dajalniki VIONiC so zasnovani z intuitivnim načinom za samodejno umerjanje in njihova montaža je tako preprosta. Na voljo je tudi opcijsko napredno diagnostično orodje ADTi-100, ki zagotavlja sprotne povratne informacije iz dajalnika pri montaži in diagnosticiranju na terenu.
Poiščite pravo skalo za VIONiC
Linearne meritve
Tip skale | Naziv skale | Točnost | Razdelba skale | Temperaturni koeficient dolžinskega raztezka pri 20 °C | Največja dolžina traku |
Trak iz nerjavnega jekla z opcijskimi vodili
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Do 10 m (nad 10 m po naročilu) | |
Ozek merilni trak iz nerjavnega jekla
| ±5 µm/m | 20 µm | Usklajen z materialom podlage, ko je trak pritrjen nanjo s končnima sponkama | Do 20 m (nad 20 m po naročilu) | |
Togi merilni trak ZeroMet
| RELM/RELE | ±1 µm do 1 m, naprej ±1 µm/m | 20 µm | 0,75 ±0,35 µm/m/°C | Do 1,5 m |
Togi trak iz nerjavnega jekla
| ±1,5 µm do 1 m, ±2,25 µm do 2 m, ±3 µm do 3 m, ±4 µm do 5 m | 20 µm | 10,1 ±0,2 µm/m/°C | Do 5 m |
Delni krožni lok
Tip skale | Naziv skale | Točnost | Razdelba skale | Temperaturni koeficient dolžinskega raztezka pri 20 °C: | Dobavljive dolžine |
Ozek trak iz nerjavnega jekla za aplikacije z delnim krožnim lokom
| ±5 µm/m | 20 µm | 10,1 ±0,2 μm/m/°C | Do 20 m (nad 20 m po naročilu) |
Rotacijski
Tip skale | Naziv skale | Natančnost (odvisno od premera obroča) | Razdelba skale | Temperaturni koeficient dolžinskega raztezka pri 20 °C | Premer obroča |
Obroč iz nerjavnega jekla  | Natančnost razdelbe: ±3,97 do ±0,38 kotne sekunde | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52 do 550 mm | |
Ultranatančen obroč iz nerjavnega jekla  | REXM20/REXT20 | Nameščena natančnost: (premer ≥ 100 mm) ±1 kotna sekunda | 20 µm | 15,5 ±0,5 µm/m/°C | 52 do 417 mm |
Opcijsko napredno diagnostično orodje ADTi-100
Dajalnik VIONiC je združljiv z naprednim diagnostičnim orodjem ADTi-100 in s programsko opremo ADT View. Orodje in programska oprema zagotavljata izčrpne in sprotne povratne informacije iz dajalnika kot pomoč pri zahtevnejših inštalacijah in pri diagnostični obravnavi. Intuitivni programski vmesnik je mogoče uporabljati za:
- Oddaljeno umerjanje
- Optimizacijo signala po celotni dolžini osi
- Prikaz nagiba bralne glave
- Sporočanje položaja končnih stikal in referenčnih oznak
- Digitalni izhod s položajem dajalnika (relativno glede na skalo)
- Spremljanje hitrosti na časovnem grafikonu
- Izvoz in shranjevanje podatkov
Ključne lastnosti
Hitrost
| Možnost taktiranega izhoda (MHz) | Največja hitrost (m/s) | Najmanjša razdalja med robovi* (ns) | |||||||||||
| D (5 μm) | X (1 μm) | Z (0,5 μm) | W (0,2 μm) | Y (0,1 μm) | H (50 nm) | M (40 nm) | P (25 nm) | I (20 nm) | O (10 nm) | Q (5 nm) | R (2,5 nm) | ||
| 50 | 12 | 12 | 12 | 7,25 | 3,63 | 1,81 | 1,45 | 0,906 | 0,725 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 25,3 |
| 40 | 12 | 12 | 12 | 5,80 | 2,90 | 1,45 | 1,16 | 0,725 | 0,580 | 0,290 | 0,145 | 0,073 | 31,8 |
| 25 | 12 | 12 | 9,06 | 3,63 | 1,81 | 0,906 | 0,725 | 0,453 | 0,363 | 0,181 | 0,091 | 0,045 | 51,2 |
| 20 | 12 | 12 | 8,06 | 3,22 | 1,61 | 0,806 | 0,645 | 0,403 | 0,322 | 0,161 | 0,081 | 0,040 | 57,7 |
| 12 | 12 | 10,36 | 5,18 | 2,07 | 1,04 | 0,518 | 0,414 | 0,259 | 0,207 | 0,104 | 0,052 | 0,026 | 90,2 |
| 10 | 12 | 8,53 | 4,27 | 1,71 | 0,850 | 0,427 | 0,341 | 0,213 | 0,171 | 0,085 | 0,043 | 0,021 | 110 |
| 08 | 12 | 6,91 | 3,45 | 1,38 | 0,690 | 0,345 | 0,276 | 0,173 | 0,138 | 0,069 | 0,035 | 0,017 | 136 |
| 06 | 12 | 5,37 | 2,69 | 1,07 | 0,540 | 0,269 | 0,215 | 0,134 | 0,107 | 0,054 | 0,027 | 0,013 | 175 |
| 04 | 12 | 3,63 | 1,81 | 0,730 | 0,360 | 0,181 | 0,145 | 0,091 | 0,073 | 0,036 | 0,018 | 0,009 | 259 |
| 01 | 4,53 | 0,910 | 0,450 | 0,180 | 0,090 | 0,045 | 0,036 | 0,023 | 0,018 | 0,009 | 0,005 | 0,002 | 1038 |
*Za bralno glavo z 1 m kabla
Ultranizka napaka interpolacije (SDE)
Interpolirana napaka – 10 ciklov napak
Os X: Položaj bralne glave (mm)
Os Y: Napaka (nm)